Im Allgemeinen kann die Messgenauigkeit der gewöhnlichen industriellen thermischen Durchflussmesser ± 1% bis ± 3% FS (Vollbereich) erreichen. In einigen industriellen Anwendungen, bei denen die Genauigkeit der Durchflussmessung nicht extrem hoch ist, wie z. 
Für hochpräzise thermische Durchflussmesser kann ihre Messgenauigkeit nach sorgfältiger Entwurf, Herstellung und Kalibrierung ± 0,5% fs oder sogar höher erreichen. Diese Art des thermischen Durchflussmessers mit hoher Präzision wird normalerweise in Bereichen angewendet, die extrem strenge Durchflussmessgenauigkeit erfordern, z. 
Darüber hinaus können einige thermische Durchflussmeter innerhalb bestimmter Durchflussbereiche oder für bestimmte Flüssigkeiten durch Optimierungsdesign und Algorithmuskompensation eine höhere Messgenauigkeit erzielen. In praktischen Anwendungen kann jedoch aufgrund verschiedener Faktoren wie Änderungen der Flüssigkeitsmerkmale, Einschränkungen der Installationsbedingungen und Umweltfaktoren die tatsächliche Messgenauigkeit des Durchflussmessers geringfügig abnehmen.
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