De um modo geral, a precisão da medição dos medidores de fluxo térmico industrial comum pode atingir ± 1% a ± 3% Fs (alcance total). Por exemplo, em algumas aplicações industriais em que a precisão da medição de fluxo não é extremamente alta, como a medição geral do fluxo de gasoduto, a precisão do medidor de fluxo térmico utilizado pode estar em torno de ± 2% Fs. 
Para medidores de fluxo térmico de alta precisão, após projeto cuidadoso, fabricação e calibração, sua precisão de medição pode atingir ± 0,5% FS ou até mais. Esse tipo de medidor térmico de alta precisão é geralmente aplicado em campos que requerem precisão de medição de fluxo extremamente estrita, como experimentos de pesquisa científica, equipamentos médicos de ponta etc. Por exemplo, em alguns experimentos de pesquisa científica, medidas precisas de fluxo de pequenas taxas de fluxo de gases ou líquidos é necessária e é necessária uma alta prévia. 
Além disso, alguns medidores de fluxo térmico podem obter maior precisão de medição em faixas de fluxo específicas ou para fluidos específicos através do projeto de otimização e compensação do algoritmo. No entanto, em aplicações práticas, devido a vários fatores, como alterações nas características do fluido, limitações nas condições de instalação e fatores ambientais, a precisão real da medição do medidor de vazão pode diminuir levemente.
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